JIYUN KANG, SK Hynix
하나의 반도체를 만들기 위해서는 수많은 단위 공정들을 거치게 됩니다.
각 공정들이 잘 진행되어야 양질의 반도체를 얻을 수 있으며 이를 공정 사이 계측을 통해 관리하고 있습니다. 하지만 장비 별, FAB 별로 다양한 형태로 존재하기에 일관된 분석이 어렵습니다.
여기, JSL을 활용하여 누구나 쉽고 빠르게 일관된 분석이 가능한 사례를 소개합니다.
한정된 Data로 WAFER 내 RESPONSE 분포를 예측하며 통계적인 정보를 제공합니다.
또한, interactive 한 분석 결과를 시각적으로 보여줍니다.