半導体業界で役立つ！ 統計解析ソフトウェア「JMP」の機能と活用例
Ryan_Gilmore
| Updated on
- 半導体業界（素材、製造装置も含む）では、研究開発、品質・信頼性管理、製造、検査の各フェーズで活用できるJMPの機能があります。
- 本動画では、JMPの概要や半導体業界での利用事例を紹介し、データ解析および統計解析におけるJMPの機能とその活用例についてデモンストレーションを交えて紹介します。最後にJMPを活用するためのリソースも紹介しています。
- 半導体業界向けの事例の紹介、データ例になっていますが、製造業（電子部品、自動車、半導体以外の素材など）の研究、品質管理、製造などに従事されている方でも役立つ内容になっています。
※本動画、資料は、製作時点（2024年6月）での最新バージョン「JMP（JMP Pro）18.0.1」を用いています。
※このページから、セミナーで使用した資料（pdf）をダウンロードできます。
目次
- はじめに. JMPの概要と半導体業界での利用
- トピック1: 多数の工程を評価、探索する工程能力分析
- トピック2: ウエハーマップの作成、クラスタリングによるウエハーの不適合分類
- トピック3: 信頼性分析 ～製品寿命の予測～
- トピック4: 実験計画法(DOE)の概要と半導体製造工程における利用例
- トピック5: 統計モデルの構築と特性値に影響を及ぼす要因探索
- トピック6: ワークフローによる分析作業の自動化
- 参考情報、リソース
はじめに. JMPの概要と半導体業界での利用
JMPの特長や、半導体業界においてどのようにJMPを利用しているかについて、利用事例やお客様の声をもとに紹介します。
また、半導体製造におけるCVD(成膜方式)のプロセスデータを用いて、JMPのパワフルな機能をデモします。（18分28秒）
トピック1: 多数の工程を評価、探索する工程能力分析
JMPでは工程変数に仕様限界を指定し、工程能力分析ができますが、多数の工程を一度に検討、比較できる「工程のスクリーニング」の機能を紹介します。（9分59秒）
トピック2: ウエハーマップの作成、クラスタリングによるウエハーの不適合分類
「グラフビルダー」を用いて、ウェハーマップを作成し不適合数を可視化します。さらに、クラスター分析を用い、不適合パターンによりウェハーをいくつかのグループに分類します。（10分3秒）
トピック3: 信頼性分析 ～製品寿命の予測～
JMPでは、製品の信頼性を分析する多くの機能が搭載されています。ここでは、よく用いられる「寿命の一変量」の機能を用い、寿命データにさまざまな分布をあてはめ、最も良いモデルの選定、良いモデルを用いた故障確率の予測を行います。（7分38秒）
トピック4: 実験計画法(DOE)の概要と半導体製造工程における利用例
実験計画法の概要を説明し、プラズマアッシング工程におけるフォトレジスト除去量や除去量のばらつきをに影響を与える因子を特定するために実験計画法を活用する例を示します。（16分2秒）
トピック5: 統計モデルの構築と特性値に影響を及ぼす要因探索
JMPまたはJMP Proを使って、統計モデルを構築し、予測プロファイルを用いて予測、要因探索を行う例を示します。（11分42秒）
トピック6: ワークフローによる分析作業の自動化
JMPの「ワークフロービルダー」を用い、JMPの操作を記録し、操作内容を再現するスクリプトを生成する方法を紹介します。（10分9秒）
参考情報、リソース
JMPのすべての機能を30日間お試しできます。
JMPのマニュアル（PDF）をダウンロードできます。
半導体業界をはじめ、さまざまな業界、利用用途でのJMP利用事例が掲載されています。
無料のオンライン統計コースです。製造業で用いる問題解決の考え方、それにまつわる統計手法やJMPの利用方法を学習できます。
製品、導入に関するお問い合わせ
以下のお問い合わせフォームよりお問い合わせください。折り返し、弊社担当より返信いたします。
