在工艺表征过程中，定义Design Space是个非常重要的环节。利用蒙特卡罗模拟模拟是定义Design Space一个非常好的方法，但在这个过程中，往往需要多次、反复修改工艺参数的上下限，并且经常会出现手动修改也得不到合理的结果的情况。那么，想要自动获取Design Space是否有更好的方法？本次演讲将通过案例演示如何通过机器学习方法自动获取Design Space，为大家提供思路和参考。