统计分析工具在工艺验证各阶段的应用

工艺验证分为工艺设计，工艺确认，和持续工艺验证三个阶段。不同阶段涉及的工作内容和参与人员均有不同，但均需要相关统计分析工作的支持。本次演讲将系统梳理和介绍不同统计方法在各个阶段的应用，例如DOE在工艺开发阶段的应用，比较分析在技术转移阶段的应用，等效性分析在小规模模型确认上的应用，蒙特卡罗模拟在工艺表征上的应用，稳定性分析在方法评估上的应用，以及控制图在持续工艺验证上的应用等。