안철상 TL, SKhynix
반도체 장비에는 수 많은 Parameter가 존재하며, 초 단위로 무수히 많은 Data가 생성되고 있습니다. 이런 방대한 Data를 분석하기 위해서는 복잡한 전처리 과정과 통계적인 접근, 이를 시각화 할 수 있는 분석 Tool이 필요합니다.
JSL을 활용해 자동으로 모든 Data를 일괄 통계적으로 분석하고, One Page Summary Report를 통해 분석 결과를 보여줄 수 있습니다. JMP Add-in을 개발해 엔지니어들이 복잡한 분석을 쉽게 누구나 할 수 있도록 만든 사례를 소개합니다.