Level: Intermediate
전병구 TL, SK하이닉스
이 발표에서는 Pattern Shrink에 따라 발생하는 profile 상의 문제들을 해결할 때, 기존의 개선방법 대비 DOE를 활용해 좀 더 빠르고, 효율적으로 개선하는 과정을 살펴봅니다.